VORRICHTUNG ZUR DURCHFUEHRUNG VORWIEGEND THERMISCHER ARBEITSPROZESSE,INSBESONDERE IN DER HALBLEITERINDUSTRIE
- 申请公布号：
- DD143127(A1)
- 申请号：
- DD19790212350
- 申请日期：
- 1979.04.20
- 申请公布日期：
- 1980.07.30
- 申请人：
- KOENIG,ROLF,DD
- 发明人：
- KOENIG,ROLF,DD
- 分类号：
- H01L21/18;(IPC1-7):H01L21/18
- 主分类号：
- H01L21/18