移动式弧光放电离子镀膜设备

申请公布号：

CN201762436U

申请号：

CN201020250355.3

申请日期：

2010.07.07

申请公布日期：

2011.03.16

申请人：

中国科学院金属研究所

发明人：

于志明;牛云松;何宇廷;崔荣洪

分类号：

C23C14/30(2006.01)I

主分类号：

C23C14/30(2006.01)I

代理机构：

沈阳科苑专利商标代理有限公司 21002

代理人：

张志伟

地址：

110016 辽宁省沈阳市沈河区文化路72号

摘要：

本实用新型涉及离子镀膜设备领域，具体为一种移动式弧光放电离子镀膜设备，可应用到飞机大型构件的功能化处理，也可推广应用到航天飞行器、大型客货船等大型或重型器件的表面耐磨、耐蚀以及各种功能性镀膜处理。抽气机组的抽气口与真空腔体的排气口相连接，蒸发源电源控制单元的正极和负极分别连接于真空腔体的外壳和蒸发源的靶材上；偏压电源的正极和负极分别连接于真空腔体的外壳和被镀工件上；复合真空计的高、低真空规探头分别与安装在真空腔体底部的离子真空规管和热阻规管相连接；温度监测单元与安装在真空腔体底部的热电偶相连接。本实用新型解决不便装入镀膜设备真空室内的大型部件、不宜拆卸搬运器件的局部镀膜处理等问题。

主权项：

一种移动式弧光放电离子镀膜设备，其特征在于：该设备设有真空腔体、真空机组、蒸发源、电源控制单元、温度监测单元、复合真空计，抽气机组的抽气口与真空腔体的排气口相连接，蒸发源电源控制单元的正极和负极分别连接于真空腔体的外壳和蒸发源的靶材上；偏压电源的正极和负极分别连接于真空腔体的外壳和被镀工件上；复合真空计的高、低真空规探头分别与安装在真空腔体底部的离子真空规管和热阻规管相连接；温度监测单元与安装在真空腔体底部的热电偶相连接。