FLUORINE-CONTAINING METAL OXIDE FILM AND PRODUCTION OF METAL OXIDE FILM

申请公布号：
JPH07309638(A)
申请号：
JP19940105250
申请日期：
1994.05.19
申请公布日期：
1995.11.28
申请人：
TOSOH CORP
发明人：
TSUKUMA KOJI;AKIYAMA TOMOYUKI
分类号：
C03C17/25;(IPC1-7):C03C17/25
主分类号：
C03C17/25
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