METHOD FOR MEASURING SURFACE PROPERTIES AND CO-ORDINATE MEASURING DEVICE
- 申请公布号：
- WO03008905(B1)
- 申请号：
- WO2002EP07466
- 申请日期：
- 2002.07.05
- 申请公布日期：
- 2003.11.27
- 申请人：
- WERTH MESSTECHNIK GMBH;FERGER, DETLEF
- 发明人：
- FERGER, DETLEF
- 分类号：
- G01B11/00;G01B5/28;G01B11/03;G01B11/30;G01B21/00;G01B21/04;G01B21/30;(IPC1-7):G01B21/30
- 主分类号：
- G01B11/00
- 摘要：
- Um mittels eines Koordinatenmessgeräts (10) Oberflächeneigenschaften eines Werkstückes unabhängig von dessen Materialeigenschaften überaus präzise zu messen, wird ein entlang Koordinatenachsen (X, Y, Z) verfahrbares Antastformelement (30) sowie dessen Bewegung auf der Oberfläche des Werkstücks erfassender optischer Sensor (32) vorgeschlagen, wobei der optische Sensor (32) ein opto-elektronischer Abstandssensor ist und das Abstandsformelement (30) derart in Bezug auf den Abstandssensor verstellbar angeordnet ist, dass dieser wahlweise die Oberfläche unmittelbar oder die Position des Antastformelements misst.
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