生物蛋白质分子芯片的制造方法

申请公布号：

CN1529169A

申请号：

CN200310107947.4

申请日期：

2003.10.16

申请公布日期：

2004.09.15

申请人：

上海大学

发明人：

焦正;吴明红;施利毅;雷红

分类号：

G01N33/50;G01N33/68;G01N33/543;C12Q1/68

主分类号：

G01N33/50

代理机构：

上海上大专利事务所

代理人：

顾勇华

地址：

200072上海市闸北区延长路149号

摘要：

本发明涉及一种生物蛋白质芯片的制造方法，实质上是一种蛋白质分子在硅表面的活性装配方法，该方法可以应用于DNA芯片和蛋白质芯片的制造，属于生物传感技术领域。本发明方法的特征在于：首先采用标准的半导体工艺清洗和热氧化硅片；然后使用十八烷基三氯硅烷处理硅表面，再采用原子力显微镜(AFM)纳米刻蚀技术在硅片表面刻蚀纳米图形；之后用γ－氨基－丙基－三乙基硅烷处理硅表面，最后将加工好的纳米图形位置的硅片浸入蛋白质溶液，使蛋白质分子固定在非刻蚀图形位置的硅片表面上，而刻蚀过的硅片表面没有蛋白质分子。本发明方法的优点是能有效地保证蛋白质分子的活性，提高结合的牢固程度，且具有超高蛋白质分子集成度。

主权项：

1.一种生物蛋白质分子芯片的制造方法，实质上是一种蛋白质分子在硅表面的活性装配方法，其特征在于具有如下各工艺步骤：a.首先采用标准的半导体工艺清洗和热氧化硅片；b.将上述预处理好的硅片浸入十八烷基三氯硅烷(OTS)中，浸泡一定时间使硅片表面带有十八烷基，十八烷基对蛋白质分子具有排斥性；c.采用原子力量显微镜(AFM)纳米刻蚀技术在上述的处理过的硅片表面刻蚀纳米图形；刻蚀的方法是：在原子力显微镜探针与硅表面之间施加电压，移动探针，在硅表面形成几十纳米宽度的图形，使被刻蚀的图形所在位置的十八烷基被破坏而除去；d.将上述加工好的硅片浸入γ-氨基-丙基-三乙基硅烷(γ-APTES)中，硅片上十八烷基被破坏的纳米图形表面带有氨基，该氨基对蛋白质分子具有亲和性；e.将上述带有纳米图形的硅片浸入蛋白质分子溶液中，使蛋白质分子被固定在刻蚀图形位置的硅片表面上。