MULTIPLE FREQUENCY PLASMA ETCH REACTOR

申请公布号：

EP1661171(A4)

申请号：

EP20040781695

申请日期：

2004.08.20

申请公布日期：

2009.03.11

申请人：

LAM RESEARCH CORPORATION

发明人：

DHINDSA, RAJINDER;SADJADI, REZA, S., M.;KOZAKEVICH, FELIX;TRUSSELL, DAVE;LI, LUMIN;LENZ, ERIC;RUSU, CAMELIA;SRINIVASAN, MUKUND;EPPLER, AARON;TIETZ, JIM;MARKS, JEFFREY

分类号：

H01J37/32;B23B3/10;H01L21/311;H01L21/467;H05H1/46

主分类号：

H01J37/32