UNEVENNESS INSPECTION SYSTEM, UNEVENNESS INSPECTION METHOD, AND UNEVENNESS INSPECTION PROGRAM
- 申请公布号：
- KR20150120975(A)
- 申请号：
- KR20157021861
- 申请日期：
- 2014.02.18
- 申请公布日期：
- 2015.10.28
- 申请人：
- SONY CORPORATION
- 发明人：
- TOMIOKA SATOSHI
- 分类号：
- G01M11/00;G01M11/02;G01N21/88;G02F1/13
- 主分类号：
- G01M11/00
- 摘要：
- 불균일 검사 시스템은, 검사 대상의 촬상 화상을 취득하기 위한 촬상부와, 촬상 화상에 기초하여 색 불균일 검사용 화상 및 휘도 불균일 검사용 화상을 각각 생성하는 화상 생성부와, 색 불균일 검사용 화상 및 휘도 불균일 검사용 화상의 양쪽을 사용해서 평가 파라미터를 산출하는 산출부와, 산출된 평가 파라미터를 사용해서 불균일 검사를 행하는 검사부를 구비하고 있다. 화상 생성부는, 촬상 화상에 대하여 색 성분과 휘도 성분의 화상 분리 처리를 행함으로써, 색 성분 화상 및 휘도 성분 화상을 각각 생성함과 함께, 색 성분 화상 및 휘도 성분 화상에 대하여 시각의 공간 주파수 특성을 고려한 필터 처리를 개별로 행하고, 필터 처리 후의 색 성분 화상 및 휘도 성분 화상에 기초하여 색 불균일 검사 화상 및 휘도 불균일 검사용 화상을 각각 생성한다. 산출부는, 색 및 휘도의 양쪽에 대한 불균일 시감도를 고려하여, 평가 파라미터를 산출한다.
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