PROCEDE DE COLLAGE DIRECT

申请公布号：

FR3036224(A1)

申请号：

FR20150054312

申请日期：

2015.05.13

申请公布日期：

2016.11.18

申请人：

COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE ET AUX ENERGIES ALTERNATIVES

发明人：

TAUZIN AURELIE;IMBERT BRUNO

分类号：

H01L21/02

主分类号：

H01L21/02

摘要：

Le procédé est réalisé entre un premier substrat (1) comprenant une première couche d'un premier matériau et un second substrat (2) comprenant une seconde couche (6) d'un second matériau, le premier matériau et le second matériau étant de natures différentes et choisis parmi des alliages d'éléments des colonnes III et V, le procédé comprenant les étapes de : a) Fournir le premier substrat (1) et le second substrat (2), b) Mettre en contact le premier substrat (1) et le second substrat (2) de sorte à former une interface de collage (7) entre la première couche et la seconde couche (6), c) Effectuer un premier traitement thermique à une première température prédéfinie, d) Amincir l'un des substrats (1,2), e) Déposer, à une température inférieure ou égale à la première température prédéfinie, une couche barrière (8), sur le substrat (1,2) aminci, et f) Effectuer un second traitement thermique à une seconde température prédéfinie, supérieure à la première température prédéfinie.