MOVING STAGE DEVICE

申请公布号：

JPS62159088(A)

申请号：

JP19860001183

申请日期：

1986.01.07

申请公布日期：

1987.07.15

申请人：

CANON INC

发明人：

IIZUKA KAZUO

分类号：

G05D3/00;G12B5/00;H01L21/027;H01L21/30;H01L21/67;H01L21/68

主分类号：

G05D3/00