MANUFACTURE OF FIELD-EFFECT TRANSISTOR

申请公布号：

JPH0329329(A)

申请号：

JP19890163544

申请日期：

1989.06.26

申请公布日期：

1991.02.07

申请人：

MITSUBISHI ELECTRIC CORP

发明人：

WATASE MANABU

分类号：

H01L29/812;H01L21/338;H01L29/417

主分类号：

H01L29/812