SEMICONDUCTOR DEVICE

申请公布号：

JPH03284864(A)

申请号：

JP19900086234

申请日期：

1990.03.30

申请公布日期：

1991.12.16

申请人：

FUJITSU LTD

发明人：

IIDA TAKASHI

分类号：

H01L21/82

主分类号：

H01L21/82