SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF

申请公布号：

JPH05218213(A)

申请号：

JP19920046236

申请日期：

1992.01.31

申请公布日期：

1993.08.27

申请人：

MITSUBISHI ELECTRIC CORP

发明人：

KAWASAKI KAZUE

分类号：

H01L23/522;H01L21/768;H01L29/41

主分类号：

H01L23/522