ON-SITE AMMONIA PURIFICATION FOR SEMICONDUCTOR MANUFACTURE
- 申请公布号：
- EP0831978(A1)
- 申请号：
- EP19960922410
- 申请日期：
- 1996.06.05
- 申请公布日期：
- 1998.04.01
- 申请人：
- STARTEC VENTURES, INC.
- 发明人：
- HOFFMAN, JOE, G.;CLARK, SCOT R.
- 分类号：
- B08B3/08;B01D3/00;B01D53/14;C01B7/19;C01C1/02;C01C1/16;H01L21/304;H01L21/306;H01L21/311;(IPC1-7):B08B7/04;B01D1/00;B01D3/02;B01D3/14;B01D3/34;C01B7/07;F26B7/00
- 主分类号：
- B08B3/08