Apparatus for forming a thin film and process for forming a thin film by means of the apparatus
- 申请公布号：
- EP0548926(B1)
- 申请号：
- EP19920121821
- 申请日期：
- 1992.12.22
- 申请公布日期：
- 1998.05.06
- 申请人：
- TSUBOUCHI, KAZUO
- 发明人：
- TSUBOUCHI, KAZUO;MASU, KAZUYA
- 分类号：
- B01D1/14;B01D1/16;B01D1/20;B01D3/06;B01J7/02;C23C16/44;C23C16/448;C23C16/455;C30B25/14;H01L21/285;(IPC1-7):C23C16/44
- 主分类号：
- B01D1/14