METHOD AND EQUIPMENT FOR LASER ANNEALING

申请公布号：

JPH10209069(A)

申请号：

JP19970006862

申请日期：

1997.01.17

申请公布日期：

1998.08.07

申请人：

SUMITOMO HEAVY IND LTD

发明人：

OKAMURA TETSUYA;OKUDAIRA YASUYUKI;SUGA YASUMASA

分类号：

H01L21/20;H01L21/268;(IPC1-7):H01L21/268

主分类号：

H01L21/20