APPARATUS FOR CLEANING WAFER

申请公布号：

KR20060072233(A)

申请号：

KR20040110631

申请日期：

2004.12.22

申请公布日期：

2006.06.28

申请人：

DONGBU ELECTRONICS CO., LTD.

发明人：

LEE, IL HO

分类号：

H01L21/304

主分类号：

H01L21/304