热驱动的微反射镜和电子装置

申请公布号：

CN1310057C

申请号：

CN03148097.7

申请日期：

2003.06.27

申请公布日期：

2007.04.11

申请人：

索尼公司

发明人：

石川博一;横沟宽治

分类号：

G02B26/10(2006.01);H04N1/113(2006.01)

主分类号：

G02B26/10(2006.01)

代理机构：

中国专利代理(香港)有限公司

代理人：

蔡民军;章社杲

地址：

日本东京都

摘要：

一种热驱动微反射镜包括反射镜表面和具有用于支承反射镜表面的多层结构的支承构件部分。该支承构件部分在通电时产生热量，因为在多层结构中热膨胀系数不同，所以造成支承构件部分偏转，因而可以使反射镜表面倾斜任意角度。该支承构件部分配置在反射镜表面用于施加电的电极部分之间。该支承构件部分的纵轴垂直于反射镜表面的中心轴，而该支承构件部分的纵向中心基本上位于反射镜表面的中心轴上。因此，反射镜表面的转动轴不位移，在反射镜表面的光反射位置不移动。

主权项：

1.一种热驱动微反射镜，包括：反射镜表面；以及具有支承反射镜表面的多层结构的支承构件部分；其中，利用支承构件的偏转可倾斜反射镜表面，这种偏转是因为多层构件的热膨胀系数不同以及由支承构件部分通电时产生的热量造成的；该支承构件部分配置在反射镜表面和用于施加电的电极部分之间；支承构件部分的纵轴垂直于反射镜表面的中心轴，而支承构件部分的纵向中心位于反射镜表面的中心轴上。