悬浮传输装置

申请公布号：

CN101020539A

申请号：

CN200710020727.6

申请日期：

2007.03.23

申请公布日期：

2007.08.22

申请人：

苏州安泰空气技术有限公司

发明人：

平泽紘介;周乐;渡边直树

分类号：

B65G51/03(2006.01);B65G49/06(2006.01);B65G49/07(2006.01);H01L21/677(2006.01)

主分类号：

B65G51/03(2006.01)

代理机构：

苏州创元专利商标事务所有限公司

代理人：

孙仿卫

地址：

215011江苏省苏州市新区玉山路72号

摘要：

一种悬浮传输装置，用于对半导体晶片以及液晶玻璃等板状的被传输物品实施悬浮传输，它包括设置在传输路径下方的风机过滤器单元，该风机过滤单元向着传输路径上的被传输物品喷射气流，所述的喷射气流不但使得被传输物品悬浮起来，并且使得被悬浮物品沿着一定方向移动，所述的风机过滤单元还可以在被传输物品在悬浮移动的过程中，喷出洁净的空气流包围被传输物品。

主权项：

1.一种悬浮传输装置，用于对半导体晶片以及液晶玻璃等板状的被传输物品实施悬浮传输，其特征在于：所述的悬浮传输装置包括设置在传输路径下方的风机过滤器单元，所述的风机过滤器单元用于向传输路径上的被传输物品喷射洁净空气流，同时利用洁净空气流包围被传输物品。