HARMFUL GAS SUCTION DEVICE OF CHAMBER

申请公布号：

KR20100001047(U)

申请号：

KR20080009748U

申请日期：

2008.07.22

申请公布日期：

2010.02.01

分类号：

H01L21/02;H01L21/00

主分类号：

H01L21/02