用于沉积薄膜的设备和方法

申请公布号：

CN1952206B

申请号：

CN200610140238.X

申请日期：

2006.10.20

申请公布日期：

2010.08.11

申请人：

三星移动显示器株式会社

发明人：

许明洙;安宰弘;韩尚辰

分类号：

C23C14/24(2006.01)I;C23C14/54(2006.01)I;C23C14/04(2006.01)I;C23C14/12(2006.01)I

主分类号：

C23C14/24(2006.01)I

代理机构：

北京铭硕知识产权代理有限公司 11286

代理人：

韩明星;谭昌驰

地址：

韩国京畿道水原市

摘要：

本发明提供了一种用于沉积薄膜的设备和方法，该设备包括：处理室，具有膜形成部分和沉积防止部分，沉积防止部分在膜形成部分的周边；蒸发源，与处理室流动相通，用于容纳沉积材料；吸热板，形成在处理室的沉积防止部分中，其中，吸热板设置成围绕位于处理室的膜形成部分中的基底。

主权项：

一种用于沉积薄膜的设备，包括：处理室，具有膜形成部分和沉积防止部分，所述沉积防止部分在所述膜形成部分的周边；蒸发源，具有至少一个加热单元、至少一个喷嘴和沉积材料，所述蒸发源与所述处理室流动相通，用于容纳沉积材料；吸热板，形成在所述处理室的所述沉积防止部分中，其中，所述吸热板设置成围绕位于所述处理室的所述膜形成部分中的基底，以吸收由所述蒸发源加热单元产生的热，其中，所述吸热板包括在所述吸热板和所述蒸发源之间形成在所述吸热板上的黑层。