METHOD OF CLEANING A COATED PROCESS CHAMBER COMPONENT
- 申请公布号：
- KR101079217(B1)
- 申请号：
- KR20057009437
- 申请日期：
- 2003.11.12
- 申请公布日期：
- 2011.11.03
- 分类号：
- B24C1/00;C22B7/00;C23C14/56;C23C14/58;C23F1/36;C23G1/02;C23G1/12
- 主分类号：
- B24C1/00
- 摘要：
- <p>그 위에 표면을 갖는 금속 코팅을 갖는 프로세스 챔버 부품의 세정 및 개장 방법에서, 금속 코팅의 표면은 표면으로부터 프로세스 증착물의 적어도 일부를 제거하기 위해 산성 용액 내에 침지된다. 그 후, 금속 코팅의 표면은 실질적으로 모든 금속 코팅을 제거하기 위해 염기성 용액 내에 침지된다. 부품은 부품의 표면을 거칠게 하기 위해 선택적으로 비드 블라스팅될 수도 있고, 금속 코팅은 재형성될 수도 있다.</p>