含氟有机硅化合物薄膜的制造方法及制造装置

申请公布号：

CN103518146A

申请号：

CN201280022430.2

申请日期：

2012.05.09

申请公布日期：

2014.01.15

申请人：

旭硝子株式会社

发明人：

加藤亮祐;宫村贤郎;森本保

分类号：

G02B1/10(2006.01)I;C23C14/24(2006.01)I

主分类号：

G02B1/10(2006.01)I

代理机构：

上海专利商标事务所有限公司 31100

代理人：

胡烨

地址：

日本东京

摘要：

本发明的目的在于提供可制造高耐久性的含氟有机硅化合物薄膜并能够连续进行成膜工序的制造方法及制造装置。本发明提供含氟有机硅化合物薄膜的制造方法及可很好地用于所述制造方法的制造装置，其特征在于，依次包括以下的(a)～(c)的工序：(a)将加热容器内的含氟有机硅化合物升温至蒸镀开始温度的升温工序；(b)达到蒸镀开始温度后，对来自所述含氟有机硅化合物的蒸气进行排气的预处理工序；(c)向真空室内的基板上供给实施了所述预处理工序的含氟有机硅化合物的蒸气而形成含氟有机硅化合物薄膜的成膜工序。

主权项：

含氟有机硅化合物薄膜的制造方法，其特征在于，依次包括以下的(a)～(c)的工序：(a)将加热容器内的含氟有机硅化合物升温至蒸镀开始温度的升温工序；(b)达到蒸镀开始温度后，对来自所述含氟有机硅化合物的蒸气进行排气的预处理工序；(c)向真空室内的基板上供给实施了所述预处理工序的含氟有机硅化合物的蒸气而形成含氟有机硅化合物薄膜的成膜工序。