研磨装置和研磨方法

申请公布号：

CN101909814A

申请号：

CN200880122610.1

申请日期：

2008.12.15

申请公布日期：

2010.12.08

申请人：

夏普株式会社

发明人：

增田幸则;谷井敏展

分类号：

B24B7/26(2006.01)I;B24B1/04(2006.01)I;B24B7/06(2006.01)I;B24B41/06(2006.01)I

主分类号：

B24B7/26(2006.01)I

代理机构：

北京市隆安律师事务所 11323

代理人：

权鲜枝

地址：

日本大阪府

摘要：

以两个研磨头夹住利用传送机构正在传送的板材，一边通过励振机构使上述两个研磨头在与板材的传送方向(T)交叉的方向上振动，一边通过传送机构传送上述板材。

主权项：

一种研磨装置，其特征在于：具备：传送机构，其在规定的传送方向上传送板材；两个研磨头，其分别具有对上述板材的对应面进行研磨的研磨面，被配置成使上述研磨面与板材的对应面相接触并在板厚方向夹住该板材，被设置成能一边允许利用上述传送机构来传送板材，一边沿着上述对应面且在与上述传送机构的传送方向交叉的方向即位移方向上进行位移；以及励振机构，其使上述两个研磨头分别以在各研磨头的位移方向上进行反复位移的方式来振动。