加热基座

申请公布号：

CN204714892U

申请号：

CN201520248548.8

申请日期：

2015.04.23

申请公布日期：

2015.10.21

申请人：

北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司

发明人：

邱国庆

分类号：

C23C14/50(2006.01)I

主分类号：

C23C14/50(2006.01)I

代理机构：

北京中创阳光知识产权代理有限责任公司 11003

代理人：

尹振启

地址：

100176 北京市大兴区经济技术开发区文昌大道8号

摘要：

本实用新型公开了一种加热基座，所述加热基座包括叠置在一起的加热上板、加热中板，所述加热中板和所述加热中板可拆卸连接，所述加热基座还包括加热丝，所述加热丝设置在所述加热上板和所述加热中板之间。本实用新型加热基座不仅结构得到简化，而且其中的加热丝更换方便，使加热基座的使用寿命得到延长。

主权项：

一种加热基座，其特征在于，所述加热基座包括：叠置在一起的加热上板、加热中板，所述加热上板与所述加热中板可拆卸连接；加热丝，所述加热丝设置在所述加热上板和所述加热中板之间。