電子部品保持ヘッド、電子部品検出方法、および、ダイ供給機

申请公布号：

JPWO2013168278(A1)

申请号：

JP20140514324

申请日期：

2012.05.11

申请公布日期：

2015.12.24

申请人：

富士機械製造株式会社

发明人：

清水 利律;大橋 広康;山▲崎▼ 敏彦;村井 正樹

分类号：

B25J15/06;H01L21/677

主分类号：

B25J15/06

摘要：

複数の吸着ノズル（６０）と、複数の吸着ノズルに接続される複数のエア通路（６６）と、複数のエア通路からエアを吸引するポンプ（６８）と、複数のエア通路に設けられた複数の流量センサ（６９）とを備えた電子部品保持ヘッドにおいて、流量センサに対して、その流量センサが設けられたエア通路に接続された吸着ノズルのノズル径に応じて閾値を設定し、エアが吸引されている際の流量センサによる検出値が閾値を超えているか否かを判定する。そして、検出値が閾値を超えていると判定された場合には、吸着ノズルに電子部品が吸着されておらず、検出値が閾値以下と判定された場合には、吸着ノズルに電子部品が吸着されていると認定する。これにより、ノズル径の大きさに関わらず、吸着ノズルによる電子部品の吸着の有無を適切に判定することが可能となる。