透明电极及其制造方法

申请公布号：

CN103649886B

申请号：

CN201380002131.7

申请日期：

2013.05.17

申请公布日期：

2016.04.20

申请人：

松下知识产权经营株式会社

发明人：

一柳贵志;山下嘉久;中谷诚一

分类号：

G06F3/041(2006.01)I;C01G9/00(2006.01)I;C01G9/02(2006.01)I;H01B5/14(2006.01)I;H01B13/00(2006.01)I

主分类号：

G06F3/041(2006.01)I

代理机构：

中科专利商标代理有限责任公司 11021

代理人：

蒋亭

地址：

日本国大阪府

摘要：

本发明的透明电极具有支撑基板、设置于支撑基板上的第一透明导电性膜、设置于第一透明导电性膜上的透明绝缘性膜、以及设置于透明绝缘性膜上的第二透明导电性膜。在本发明的透明电极中，第一透明导电性膜和第二透明导电性膜以及在它们之间设置的透明绝缘性膜全部包含金属化合物，另外，第一透明导电性膜和第二透明导电性膜具有结晶结构，另一方面，透明绝缘性膜具有非晶结构。

主权项：

一种透明电极，其具有：支撑基板、设置于所述支撑基板上的第一透明导电性膜、设置于所述第一透明导电性膜上的透明绝缘性膜、以及设置于所述透明绝缘性膜上的第二透明导电性膜，所述第一透明导电性膜和所述第二透明导电性膜以及在它们之间设置的所述透明绝缘性膜全部包含金属化合物，并且作为构成所述金属化合物的金属元素，所述第一透明导电性膜、所述第二透明导电性膜和所述透明绝缘性膜之间全部包含相同的金属元素，所述第一透明导电性膜和所述第二透明导电性膜具有结晶结构，所述透明绝缘性膜具有非晶结构。