MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE AND SEMICONDUCTOR ELEMENT

申请公布号：
JPH0637070(A)
申请号：
JP19920191763
申请日期：
1992.07.20
申请公布日期：
1994.02.10
申请人：
KUBOTA CORP
发明人：
IGAWA SATOSHI
分类号：
H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):H01L21/302
主分类号：
H01L21/302
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