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5822i离子风机的精巧设计是配合高端自动化制程设备内紧密的空间条件,和严格的静电防控要求,尤其适用于硬盘制造和半导体后段封测工业。它能维持<±3 V 的离子平衡,又可接连外置回馈系统以达至<±1 V 的 效能。内置的离子平衡自动修正系统,能确保目标对象在控制中,减少维修次数和降低操作成本。配置的气流定向器,无须更多的空间,也能把平衡的离子直接吹到目标。
特点
±3 V 或更好的离子平衡 (配合选配的外接回馈系统能达至±1 V)
设备监控接口和声响报警
外置控制盒
符合洁净度 ISO 14644-1 Class 4
优点
直送吹风设计能改善离子吹送和静电控制
对产品错误能作出快速反应
允许更弹性的安装位置,又能维持效能
适合在高要求的微污染控制环境使用